柱面镜阵列二维轮廓需精准把控,传统设备仅能观察无法量化,参数偏差影响成像,导致镜片报废。
应用白光干涉技术,精准量化柱面镜阵列二维轮廓参数,无需接触即可完成检测。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌
✅ 多功能:上百种测量工具,覆盖多维度测量参数,实现一机多用