硅片厚度一致性,是硅片品质控制的重要一环。因此需要确认。
优可测激光位移传感器SL系列,满足多种在线场景的硅片厚度等参数测量。
✅ 高精度:0.01um重复性精度。
✅ 多样式:丰富型号,满足各类场景需求。
✅ 高适配:不挑测量物体颜色、材质与表面状态。