晶圆翘曲等参数测量，挑战在于精度与稳定性，传统测量方式，无法同时满足高精度，快速测量需求。
优可测激光位移传感器SL系列，满足晶圆翘曲等参数测量，并提供高性价比的测量方案。
高精度：0.01um重复性精度。
多样式：丰富型号，满足各类场景需求。
高适配：不挑测量物体颜色、材质与表面状态。
