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光学表面镀膜不均会导致色散、透过率不均、杂光等问题,从而影响器件自身功能性和精度。
反射式膜厚仪能够精准测量ITO镀膜的厚度,实现工艺监控优化。
✅ 无损:非接触式测量,不损坏样品。
✅ 精度:0.1nm精度、可生成3D热力视图。
✅ 效率:单点检测速度<1s。