行业应用
优可测提供专业、国际前沿的检测设备与技术服务,所涉及产品包括:传感器、视觉测量、粗糙度/台阶测量/三维形貌、显微镜、测量仪。
PI膜-膜厚
膜厚
行业痛点
pi膜厚不均,将影响曝光精度。

解决方案
反射式膜厚仪精准测量晶圆表面pi薄膜均匀性,实现工艺监控优化。

核心价值
✅无损:非接触式测量,不损坏样品。
✅精度:0.1nm精度、可生成3D热力视图。
✅效率:单点检测速度<1s。

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