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光学薄膜厚度不均匀,将影响薄膜性能。
反射式膜厚仪能精准测量光学薄膜厚度,实现工艺监控优化。
✅ 无损:非接触式测量,不损坏样品。
✅ 精度:0.1nm精度、可生成3D热力视图。
✅ 效率:单点检测速度<1s。