微流道Gap高度不良，直接影响流动阻力、粒子通过率等因素，从而导致核心功能失效、键合失效等问题。
反射式膜厚仪能够精准测量微流道的Gap高度，实现工艺监控优化。
✅ 无损：非接触式测量，不损坏样品。
✅ 精度：0.1nm精度、可生成3D热力视图。
✅ 效率：单点检测速度＜1s。
