微流道-膜厚

行业痛点
微流道Gap高度不良，直接影响流动阻力、粒子通过率等因素，从而导致核心功能失效、键合失效等问题。

解决方案
反射式膜厚仪能够精准测量微流道的Gap高度，实现工艺监控优化。

核心价值
✅无损：非接触式测量，不损坏样品。
✅精度：0.1nm精度、可生成3D热力视图。
✅效率：单点检测速度＜1s。

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