定制行业应用灵活地适应丰富的需求
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粗糙度 台阶 三维轮廓 类SEM效果
简单 快速 精准
3840point 高精度测量 丰富的软件功能
不受材质影响 小尺寸 高精度
分辨率1Å 场景丰富 可测10层
自动快速测量 单点时间<0.5s 点位编程 呈现3D分布 兼容2-12寸晶圆片
粗糙度
高度/高度差
三维形貌
三维尺寸
二维轮廓
二维尺寸
平面度
膜厚
角度
厚度
定位
摆动/震动
