白光干涉原理

  两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光的干涉                                                      点A和点B的干涉条纹亮度峰值之间的差即为高度差

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PSI  

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反

射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，

距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描

器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干

涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。

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VSI

垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹

的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮

度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z

轴高度可测出3D轮廓即高度差。